2つの新素子のカバー電圧範囲は-10から+180 Vで、定格変位は+160 Vで達成され、許容される表面温度範囲は-40から+160°Cで、高さはそれぞれ30 mmと45 mmで、断面寸法は5.2 mmx 5.2 mmで、160 Vと730 Nの予備圧縮力条件下で55µm（COM 30 S 5）と83µm（COM 45 S 5）の変位を実現することができる。

また、TDKは2023年にさらに3つのアクチュエータを発売し、より広範なアプリケーション要件に対応する予定です。現在、これらのアクチュエータは少量のプロトタイプサンプルとして供給されているだけで、高さ10 mm、変位量16µmのCOM 10 S 5、高さ27 mm、変位量47µmのCOM 27 S 3（リード付きタイプ）、及び高さ30 mm、断面7 mmx 7 mm、変位量55µm、推力2600 NまでのCOM 30 S 7。

TDKの圧電アクチュエータは口コミがよく、応用範囲が広く、ナノスケール位置決め技術、プロセス工程における液体とガスの高精度バルブ制御、および半導体製造などのハイエンドソリューションを含む多くの応用に適している。

主な用途

●ナノスケール位置決めシステム

●液体とガスの高精度バルブ制御

●ワイヤボンダ

主な特徴と利点

●優れた湿度安定性と高い価数比を有する銅内電極

●より小さな無効領域、より良い性能、より長い寿命、よりコンパクトな設計

●無鉛高融点金属溶接を採用し、高温操作に適している

キーデータ